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EUV光刻机的核心光源装置由美国的西盟科技制造。在高度国际化的EUV光刻机组件中，大约九成的关键技术依赖进口，其中荷兰的阿斯麦公司扮演系统整合与设计研发的角色。这一精密设备的三大关键部件包括源自硅谷的微激光系统、德国蔡司的高精度镜头，以及西盟科技供应的EUV光源。有必要注意一下的是，2012年，阿斯麦通过并购西盟科技，将其纳入麾下，加强了对EUV光源技术的掌控。现今，西盟科技作为阿斯麦的子公司，专责于EUV光源的生产。
极紫外光刻技术是推动芯片制造工艺微型化的核心技术。由于在相同面积内集成更多的晶体管能明显提升芯片效能，因此追求更精细的制程成为了行业共识。
阿斯麦公司的CEO彼得·温宁克透露，在过去的十年中，该公司成功销售了大约140台EUV光刻设备，每一台的标价高达约2亿美元。
Semico研究公司的执行副总裁约安妮·伊托指出，由于这些设备的高昂成本，许多芯片制造商面临着财务上的巨大障碍，这实际上导致了不少企业难以参与竞争，被迫边缘化。
来自美国塔夫茨大学弗莱彻学院的助理教授克里斯·米勒在接受媒体采访时强调，虽然阿斯麦是一家荷兰公司，但它生产的光刻机在很大程度上依赖于美国提供的关键零部件。这一事实凸显了全球供应链在高科技产业中的复杂交织。
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